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第263章 工艺最高达到了45nm

首次商谈合作并没有成功。

但合作的心,左锋是有的。

因为于歆然说得也不错,虽然在技术之上,艾尔的平衡车也不错,质量控制也很好,但在这个时间段,市场是非常小众的。

赛格被收购之后,显然有了更多的资金去研发新的平衡车。

而大米的一向做法,就是性价格。

说不定,到时候,又来一个1999元的平衡车,那真的是日了狗了。

真的不要一点儿利润了吗?

因此,左锋的话也没有说死,双方友好散场,于歆然则是表示将让张菁继续跟进谈判。

商场的事情,就是这样,很多时候不可能那么顺心顺意,一下子就收购了,或是投资了,需要慢慢地洽谈。

将张菁等人打发回了京都,于歆然带着林云往魔都而去。

江成,可是在那儿待了好些天了呢。

新婚刚小别,很是想念了。

---づ?ど---

此时,在魔都微的江成在整机研发上又忙活了五六天。

科宇光源的激光器,虽然还没有非常完善,但基本上能够发出193nm的准分子激光,这个部件,在副总江磊的带领下,初步整了下,已经发到了魔都微电子。

而长春光机所的物镜系统也已经运输到了。

现如今,江成正带着光刻机研发主管连广浩一众工程师进行集中装配和验证。

如果只是他们,那估计装配都是一个问题,但是江成在,他们就感觉做事顺畅了许多。

任何部件,应该装配哪里,各类系统的连接线路,要怎么布局,在江成的心头,都有着数,让大家有不懂的、有疑问的,江成一说就好。

昏黄的灯光下,江成等人穿着无尘服,开始了刚刚装配完成的样机实验。

这是第一个样机,更多是作为整机装配试验和验证功能用。

“双工件台的控制系统没问题了吧?”看着眼前这个庞然大物,江成也是心头激荡不已。

控制系统的工程师抬手比了一个ok。

这个系统,在双工件台年初到公司之后,就一直在开发试验,整机装配期间也不断完善,以适应全新的部件。

江成看向连广浩,“行,咱们开机试试。”

连广浩握着拳头,紧张兮兮的开了机。

通电之后,边上简陋的控制台屏幕慢慢启动着。

整个机子,虽然没有漂亮的外观,但基本的部件是全了。

七八个人守着,按照各自的分工安排,记录着数据情况。

每一块部件、系统的功能,都需要保证能正常使用。

试验人员拿着两块12寸的晶圆放了上去,设备操作师开始了操作。

光刻过程中,需要人工的地方很少。

在此之前,在旋涂机中已经旋涂了光刻胶,软烘后就等着光刻曝光了。

激光通过激发,透过光罩,将上面的图形照射后进入了物镜,而后投射在了晶圆上面的光刻胶上。

因为还是整机初步测试,江成并没有把浸没系统加上。

光刻胶对深紫外线光非常敏感,照射后产生光分解反应,形成“沟壑”,而后通过显影、烘干等操作,就可以进行刻蚀了。

试验的是一个简单的测试电路图形,在控制系统下,双工件台快速而又轻微的移动着,一块一块的曝光。

一张12寸的晶圆,根据芯片die的尺寸不同,能够光刻不同数量的芯片。

就如现在试验的,可以切出将近200枚。

很快,在光罩上的图案光刻好了。

试验人员取出晶圆,进行显影、烘干、刻蚀。

期间还需要用掉不少的超纯水,用这些水,把晶圆上的杂质给清洗干净。

有些无聊的光刻流程,但又是真的非常的神奇。

通过光刻,将图案刻在了晶圆上,几十纳米线宽,不通过显微镜,根本看不到。

而后再通过操作,让铜等金属在刻蚀的区域外延生长,做成了纳米级的电路。

小小的一个芯片中,密密麻麻的布着电路。

三个小时后,试验的晶圆好了,在此前每个步骤都有人员测试参数,这会儿更是开始了详细测试和验证。

“……工艺最高达到了45nm!”虽然是蒙着嘴,但连广浩看着这检测仪器上的参数,兴奋的跳了起来!

这还是干式光刻呢,如果通过浸没式的光刻呢,是不是能够突破28nm了?

甚至通过多次曝光,达到更高的工艺?!

连广浩这一句话,让场上的人顿时欢呼了起来!

“真的吗?我们居然成功了?!”

“天啊,咱们搞出来了!”

“江董牛逼!”

……

江成摇头笑笑,这些小伙子,还是太年轻了,他刚也看了(顺带模拟了),发现只是很少部分栅极的最小线宽达到了45nm,而且极不均匀。

这里头,既有光刻工艺还不纯熟,也有可能后续的一些工艺流程还有缺陷。

不过,这会儿,大家都在兴奋之中,他们已经忙活了大半年了,有这么一个好消息刺激刺激他们也好。

“这是一个巨大的进步,离我们